# FMMS-2
胖蚊显微离子束

SEM+FIB (扫描电子显微镜 + 聚焦离子束) 双束系统

+ 用于 `FMTM` 胖蚊高精制造, 比如 MEMS (微机电系统)

+ 初期分辨率目标: 1um

+ 中期分辨率目标: 100nm

主要组件 (初步设计):

+ 不锈钢真空舱

+ [舱内] 陶瓷散热内衬

+ [舱内] 控制电路板

+ [舱内] SEM+FIB 核心组件
  (电子枪, 离子源, 电磁透镜, 二次电子探测器 等)

+ [舱内] 多轴载物台

+ 真空舱气压计

+ 真空抽气机

+ [舱外] 冷却系统

+ [舱外] 控制电路板

+ [舱外] 电源

+ 考虑使用 50 ~ 100cm 厚的 `沙袋`
  作为低成本防护层 (用于应对真空内爆的危险)

+ 上位机软件系统


TODO
